一种硅晶圆棒自动粘胶的方法及生产线

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一种硅晶圆棒自动粘胶的方法及生产线
申请号:CN202510255222
申请日期:2025-03-05
公开号:CN120156025A
公开日期:2025-06-17
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种硅晶圆棒自动粘胶的方法,目的是解决现有人工粘棒成品率低、效率低的技术问题。本申请从库区出库的第一晶棒、第二晶棒由辊线传输向外,其中上述晶棒等级和直径相同,各个晶棒端面垂直度≤0.3mm,端面平面度≤0.3mm;上料机器人先后抓取两晶棒置于相应的晶线检测机检测晶线,直至两晶棒晶线对准;上料机器人抓取晶线对准后的第一晶棒至拼棒装置被夹持,随后第二晶棒端面涂胶后,由上料机器人抓取至拼棒装置被夹持;最后由拼棒装置将两晶棒粘胶。本申请还提供了一种利用上述方法的生产线,通过从配棒区至自动粘棒区依次布设的立库、抓取机及上料机器人、晶线检测机组、涂胶机和拼棒装置的配合运转既保证质量,也提高了效率。
技术关键词
上料机器人 拼棒装置 圆棒 检测机 伸缩探针 涂胶机 粘胶台 端面垂直度 轨道系统 抓取机 硅晶 长方体结构 机组 MES系统 机器人抓取
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