基于硅膜片和压阻的流量检测系统

本发明涉及流量检测技术领域，具体地说，涉及基于硅膜片和压阻的流量检测系统。其包括波动变化单元、线性系数单元、计算补偿单元和流量形变单元。本发明线性系数单元根据补偿后的电阻变化计算压阻传感器灵敏度，判断压阻传感器的响应速度性能快慢，当压阻传感器的响应速度性能快，根据硅膜片的电阻值计算电阻平均值，根据电阻平均值计算电阻残差平方，再根据预测值计算电阻总平方，利用电阻残差平方和电阻总平方计算电阻线性系数，通过根据补偿后的数据进行计算，可以有效减少温度波动带来的误差，进一步提高测量的准确性，同时压阻传感器的响应速度性能快的情况下计算电阻线性系数，可以精确量化电阻的线性度，从而提高测量的精度。