摘要
本发明公开了一种高强度聚焦超声声压测量的高带宽激光零差干涉仪,包括单频稳频激光光源、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、反射镜、第二四分之一波片、透镜组、第二偏振分光棱镜、相位延迟波片、第一高速光电探测器、第二高速光电探测器、高速数字示波器、信号解调处理单元。本发明能够解决传统激光零差干涉法无法测量HIFU声压的问题,有效降低外差法对系统带宽的要求和系统实现的复杂度,提高测量信噪比和准确度,从而提高HIFU压测量的不确定度水平和HIFU声压的测量上限。
技术关键词
高强度聚焦超声
高速光电探测器
偏振分光棱镜
高带宽
干涉仪
反光薄膜
四分之一波片
数字示波器
光学窗口
干涉系统
换能器
激光光源
差分算法
信号
处理单元
反射镜
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