一种MEMS陀螺仪驱动环路及方法

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一种MEMS陀螺仪驱动环路及方法
申请号:CN202510267977
申请日期:2025-03-07
公开号:CN120194673A
公开日期:2025-06-24
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种MEMS陀螺仪驱动环路及方法,涉及MEMS微机械系统陀螺仪芯片技术领域,解决了传统的正弦波驱动效率低、功耗大及控制精度低的技术问题,其技术方案要点是驱动环路包含的自动幅度控制时刻对两个方波驱动信号acp、acn的幅度以及占空比进行检测和调节,使得即使在外界环境如温度、应力等发生变化的情况下,MEMS陀螺仪器件本身的震荡幅度保持不变。同时调整方波驱动的占空比和幅度,实现更高精度的驱动控制,提高了驱动效率,降低了驱动电路功耗,更适合低压应用。
技术关键词
脉宽调制信号 MEMS陀螺仪 锁相环模块 电压转换模块 模数转换器 电荷泵模块 数模转换器 脉宽调制器 驱动方法 电容 时钟 生成数字信号 陀螺仪芯片 机械系统 高压
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