摘要
本发明提供了一种电池片的激光刻蚀控制系统和方法,涉及激光刻蚀加工领域,包括:定位平台,用于固定电池片;激光设备,包括激光器和扫描振镜,用于输出作用于电池片的激光光束;分束器,位于激光器输出侧,将单激光光束分为多束的衍射级次光束;聚焦透镜/透镜阵列,位于所述分束器背离所述激光器一侧,与分束器的输出的衍射级次光束垂直对齐,使得多束光聚焦后作用于电池片以形成光斑,进行局部刻蚀;控制单元,与所述定位平台、分束器、扫描振镜和聚焦透镜/透镜阵列通信,控制分束器、扫描振镜和聚焦透镜/透镜阵列,以动态调整激光光束,从而作用于电池片完成刻蚀,解决现有大多单束激光作用于电池片表面,生产效率低且刻蚀表面性能较差的问题。
技术关键词
激光刻蚀控制系统
刻蚀控制方法
分束器
定位平台
扫描振镜
透镜阵列
聚焦透镜
电池片
控制单元
激光设备
光束
光学检测组件
激光器
刻蚀图形
捕获实时图像
衍射光栅
图像识别算法
光斑