一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法

本发明涉及一种高灵敏热式流量传感元件及其制备方法，该传感元件是由流量芯片和流量通道件两大部分组成，为获得高灵敏性能优势，本发明选择具有高TCR特点的热敏薄膜作为测温单元材料，选择低厚度、低热导率、低热容量的材料作为芯片衬底；采用多层图形光刻和薄膜生长制备完成，制备完成的传感芯片中加热单元提供稳定的温度场，同时高灵敏度的测温单元更加精确、快速的实时测量温度场的变化，并根据温差信号获得流速和流向，有利于测量更低流速的流量。有效避免了传统硅基衬底流量传感芯片需通过刻蚀、减薄等复杂微纳加工工序才能实现灵敏度提升的问题，提升了热式流量传感芯片的性能和制备效率、极大地降低了成本，具有产业化推广价值。