一种基于双温模型的飞秒激光对碳化硅烧蚀模拟预测方法

本申请公开了一种基于双温模型的飞秒激光对碳化硅烧蚀模拟预测方法，涉及飞秒激光加工技术领域，该方法基于Fokker‑Plank方程对碳化硅材料的局部载流子密度进行修正，并结合飞秒激光的热源模型构建了一个适用于飞秒激光与碳化硅相互作用的改进型双温模型，然后对材料空间三维模型进行深度方向的空间离散和时间离散后采用有限差分法计算改进型双温模型得到各个网格单元内的物理量演化过程，从而对飞秒激光在不同激光参数下和碳化硅相互作用过程进行模拟预测，模拟预测结果可以反映飞秒激光加工碳化硅过程中热改性和非热改性的材料去除机理，有利于指导飞秒激光加工碳化硅的实践过程，从而可以提高飞秒激光对碳化硅的加工质量和效率。