摘要
为改善现有的喷墨芯片中加热电阻层、导电层交界处的两层倾斜阶梯状架构中,其机械强度、使用寿命、节能性与生产良率的不足,本发明提出一种新颖的喷墨芯片结构,包括:基板层、加热电阻器、n层保护层、多个连接层。其中加热电阻器设于基板层上;保护层覆盖于加热电阻器上,并开有一凹陷结构,而保护层还包括第一保护层,直接设于加热电阻器上,其材料为绝缘材料,且第一保护层的材料不同于其余的n‑1层。此外,上述的连接层则和加热电阻器电性相连。
技术关键词
喷墨芯片
加热电阻器
电阻层
绝缘材料
凹陷结构
导电层
氮化钽
基板
五氧化二铌
多晶硅材料
钛钨合金
氮化钛
二氧化铪
氧化层
金属材料
碳化硅
二氧化锆
氧化铟锡
硫化镉