喷墨芯片结构

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喷墨芯片结构
申请号:CN202510275383
申请日期:2025-03-10
公开号:CN120941886A
公开日期:2025-11-14
类型:发明专利
摘要
为改善现有的喷墨芯片中加热电阻层、导电层交界处的两层倾斜阶梯状架构中,其机械强度、使用寿命、节能性与生产良率的不足,本发明提出一种新颖的喷墨芯片结构,包括:基板层、加热电阻器、n层保护层、多个连接层。其中加热电阻器设于基板层上;保护层覆盖于加热电阻器上,并开有一凹陷结构,而保护层还包括第一保护层,直接设于加热电阻器上,其材料为绝缘材料,且第一保护层的材料不同于其余的n‑1层。此外,上述的连接层则和加热电阻器电性相连。
技术关键词
喷墨芯片 加热电阻器 电阻层 绝缘材料 凹陷结构 导电层 氮化钽 基板 五氧化二铌 多晶硅材料 钛钨合金 氮化钛 二氧化铪 氧化层 金属材料 碳化硅 二氧化锆 氧化铟锡 硫化镉
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