一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法

本发明公开了一种非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正方法，涉及光学精密测量技术领域，包括以下步骤：构建干涉测量系统，并获取待测非球面的面形误差分布；根据干涉测量系统的实际空间布局参数，构建对应的几何光学模型，并计算干涉测量结果理论空间坐标与非法向光束斜入射角度的映射关系；将干涉测量结果的像素坐标转换为理论空间坐标，并基于映射关系，通过插值算法计算待测非球面上实际面形数据各采样点的斜入射角度；最后通过斜入射与正入射时面形误差同斜入射角度间的关系，完成待测非球面干涉检测中光线倾斜入射引入误差的校正。该方法特别针对非球面元件在干涉测量过程中出现光线倾斜入射引入的误差问题，显著提升了检测精度。