摘要
一种表贴瓷介电容器柔性电极的结构表征及缺陷检测方法,通过原位高分辨率成像、导电相结构分布及界面结合性能评估等手段,实现柔性层的细致化检测,确保MLCC在高应力环境下的稳定性和可靠性,能够全面分析柔性电极层的均匀性、导电相比例、微观缺陷和界面结合状态,确保柔性电极层结构的稳定性与可靠性,从而满足MLCC在高可靠性领域的应用需求。
技术关键词
柔性电极结构
缺陷检测方法
扫描电子显微镜
电容器
基体
三维模型
离子枪
抛光系统
表面指定位置
环氧树脂
抛光布
柔性电极层
三维结构
高分辨率成像
表面缺陷检测
机械
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