一种气体质量流量传感器加工方法

本发明公开的气体质量流量传感器加工方法包括：提供底板；在底板的顶面制作检测芯片；在底板的底面和盖板表面加工凹槽并相对安装形成第一隔热腔，密封后形成第一热隔离结构；在盖体上制作气体流道和第二隔热腔；将盖体安装于底板的顶面，并将密封板安装于第二隔热腔的两端并密封以构建第二热隔离结构；安装盖体时，保障气流通道覆盖检测芯片以构建检测单元；以及制作清洁芯片以构建传感器自主清洁系统。此种工艺，取代了传统的氮化硅隔热工艺和钛/铂混合过渡膜工艺，使电阻膜的成分变成纯净的铂单质，解决了电阻膜的温度系数和电阻率等重要物性参数因膜层材料存在混合成分而导致的一致性和重复性差等问题，提升了传感器的检测精度和稳定性。