利用超小型微腔实现气体传感的检测方法

本发明公开了一种利用超小型微腔实现气体传感的检测方法，涉及光学传感技术领域，方法包括制备复合微腔结构，主微腔直径5‑50μm、品质因子Q值大于10^6，次级微腔直径1‑10μm、表面修饰功能化涂层，通过微通道耦合形成多模共振网络。宽带可调谐激光光源(1‑5μm)通过耦合效率>85％的锥形光纤激发微腔，实时监测共振频率移位、光强和线宽变化，结合公式C计算气体浓度。环境校正模型Ccorrected消除干扰，灵敏度达0.1ppb，误差<2％。自组装技术制备微腔，成本低、集成性强，适用于多组分气体实时监测，广泛应用于环境、工业和医疗领域。