摘要
本发明提供一种细胞电信号检测芯片、制备方法及细胞限位接种方法,所述细胞电信号检测芯片,包括基底、绝缘层、限位结构层和多个凹坑,其中:所述基底、所述绝缘层和所述限位结构层依次层叠设置,所述多个凹坑贯穿所述绝缘层和所述限位结构层,相邻凹坑通过凹槽连接;每个凹坑内设置电极触点,每个凹坑具有对应的导电结构,每个凹坑内设置的电极触点与每个凹坑对应的导电结构电连接;各个凹坑对应的导电结构设置在所述基底与所述绝缘层之间并且相互独立;所述凹坑用于容纳和限制单个细胞,所述凹槽用于限制细胞间的突触连接。本申请通过凹坑和凹槽限定了细胞的生长和连接,避免了细胞和突触的随机生长,保证了细胞的神经信号检测的精确性。
技术关键词
检测芯片
电极触点
微纳米
电信号
导电结构
掩膜
接种方法
基底
组装微球
对象
图案化工艺
纳米颗粒阵列
化学修饰法
凹坑阵列
微结构
针状结构
导电层
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