一种基于角锥干涉图的五棱镜扫描波前检测装置及方法

本发明公开了一种基于角锥干涉图的五棱镜扫描波前检测装置及方法。该装置包括导轨、五棱镜、分光棱镜、平面分光镜、角锥棱镜、成像镜头和CCD相机。该方法为：首先将测量光路搭建在待测波面前，并保证导轨与被测波面平行，得到平面分光镜反射光束与角锥棱镜反射光束形成的干涉图；然后调整平面分光镜的俯仰、倾斜角度，使干涉图区域内条纹数为20～50根；接着移动导轨扫描待测波面，获得五棱镜在不同位置时的干涉图；最后用快速傅里叶变换FFT算法从干涉图中提取出被测波面不同位置的倾斜量，并通过多项式拟合获得被测波面的面形分布。本发明结构简单、成本低，能够精确测量准直系统的出射波前，给准直系统的装调提供有效依据。