碳化硅激光加工模拟及形貌演化预测方法、介质及设备

本发明涉及碳化硅飞秒激光加工过程模拟及形貌演化预测方法、介质和电子设备，具体步骤包括:构建碳化硅模型，并进行离散化处理获得碳化硅网格模型；计算流体传热参数及流体流动参数；构建飞秒激光热源模型；将飞秒激光热源模型引入双温模型并对其进行修正；基于流体传热参数和流体流动参数，将修正后的双温模型与纳维‑斯托克斯模型进行耦合，构建多物理场模型；设定烧蚀阈值，当激光能量达到或超过烧蚀阈值时，网格发生变形；计算碳化硅相爆炸的网格变形速度；根据网格是否变形及其变形速度，模拟材料的去除过程。本发明通过构建多物理场模型，能够更精确地模拟飞秒激光加工碳化硅的过程，反映出实际的加工情况，提高加工过程的预测准确性。