一种高磷含氟废水深度处理系统及方法

本发明公开了一种高磷含氟废水深度处理系统及方法，包括高磷含氟废水均和池、一级除磷除氟系统及二级深度处理系统、产水池和再生加药装置，一级除磷除氟系统包含反应系统和第一沉淀池，二级深度处理系统包括依次相连的预处理池、第二沉淀池、澄清池、深度处理预处理过滤装置、过滤水池与高氟深度处理树脂交换塔，高磷含氟废水均和池与反应系统的入口相连，反应系统的出水口依次与第一沉淀池、二级深度处理系统、产水池相连，澄清池的不合格产水口与高磷含氟废水均和池相连，高氟深度处理树脂交换塔的出水口与冲洗及再生进水总管路相连。采用本发明方法对电子芯片制造产生的含磷含氟废水进行处理，除磷除氟率达到99％以上。