一种基于微纳光栅的窄带滤波器、光谱芯片及成像方法

本发明公开了一种基于微纳光栅的窄带滤波器、光谱芯片及成像方法，属于滤光片领域，窄带滤波器由上而下包括依次堆叠的介质层、金属光栅层和衬底，其中，介质层覆盖在金属光栅层的顶部并包覆在所述金属光栅层的金属栅线之间，介质层的厚度为3000nm，金属光栅层的厚度为40nm，金属光栅层的相邻金属栅线距间为120nm；金属光栅层的金属栅线根据周期规则构成周期性结构，一个周期性结构形成一个滤波器单元对应一个特定波长的通道，通过选择性透过特定波长的光，分离多波段光谱信息，所有周期性结构共同构成窄带滤波器阵列。本发明采用人工微结构实现像元级的分光效果，能够显著降低高光谱成像系统的体积。