一种分选微流控系统、芯片及其制备方法

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一种分选微流控系统、芯片及其制备方法
申请号:CN202510292569
申请日期:2025-03-12
公开号:CN120115205A
公开日期:2025-06-10
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种分选微流控系统,该微流控系统依次包括,预处理单元、样本引入单元、分选单元和出口单元。预处理单元包括离心旋转过滤膜,以滤除大尺寸CTC团簇;分选单元包括第一微柱阵列,该第一微柱阵列又依序至少包括第一级阵列和与第一级阵列接续的第二级阵列,用以分离获得不同尺寸CTCs;出口单元包括多个针对不同尺寸粒子的出口。样本引入单元包括缓冲液入口和初筛样本入口,第一微柱阵列的间隙数按照第一预设比例配置给不同的入口,离心旋转移动膜采用氮化硅过滤膜,微流控模块用于循环肿瘤细胞CTCs的提取。
技术关键词
微流控系统 微流控芯片 阵列 微流控模块 过滤膜 样本 入口 缓冲液 二甲基硅氧烷 大尺寸 粒子 氮化硅 依序 肿瘤 光刻工艺 模板 掩膜 硅片
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