一种位移测量系统

本发明公开了一种位移测量系统。其中，包括：激光器、集成芯片和控制模块；集成芯片中包括光波导结构、分束模块和光信号调制模块；激光器用于出射检测光束至光波导结构；分束模块设置在光波导结构中且在检测光束的传播路径上；光信号调制模块设置在光波导结构中且在参考光束的传播路径上；控制模块与光信号调制模块通信连接。本发明的技术方案，通过在集成芯片中设置光波导结构、分束模块和光信号调制模块，使得检测光束入射集成芯片中进行光信号的处理，再配合控制模块，形成了一个低成本小型化的位移测量系统，同时由于光传输均在光波导结构中，提高了位移测量系统的可靠性和精度。