晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备

本申请提供了一种晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备，该方法包括：获取对目标晶圆进行初步光谱检测的第一光谱数据；对第一光谱数据进行变分模态分解处理，确定第一光谱数据的光谱特性参数；通过精细化复合多尺度加权多维特征熵处理光谱特性参数，确定光谱特性参数的光谱特征向量；通过分析光谱特征向量确定光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系；根据映射关系对UV光源光谱进行自适应调整。通过本申请方案的实施，根据光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系对UV光源光谱进行自适应调整，能够确保光源的光谱特性与晶圆检测需求相匹配，避免不必要的光谱冗余或缺失，提高光谱利用率，缩短检测时间，显著提升了检测效率。