摘要
本申请公开了一种半导体产品搬运设备,涉及半导体检测领域,包括机箱,机箱一侧设置有进出料机构,机箱另一侧开设有检测口,机箱内设置有机械臂,机箱内设置有移动机构,机箱内设置有晶圆寻边机构,机箱内设置有方片寻边机构。本申请利用晶圆寻边机构和方片寻边机构,移动机构带动机械臂移动至进出料机构处,机械臂抓取一个晶圆或液晶方片,并将晶圆放置在晶圆寻边机构上,将液晶方片放置在方片寻边机构上,晶圆和液晶方片完成寻边后,机械臂再将晶圆或液晶方片输送至检测口内,检测机构对晶圆或液晶方片进行检测,一个搬运设备能够同时对晶圆或液晶方片进行搬运,从而降低了晶圆和液晶方片的生产成本。
技术关键词
半导体产品
搬运设备
进出料机构
转臂
机箱
机械臂
滑板
移动机构
机壳
升降柱
移动端
弹性复位件
托架
驱动件
限位件
移动台
解锁
旋转台
料台
滑块