一种半导体产品搬运设备

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一种半导体产品搬运设备
申请号:CN202510300106
申请日期:2025-03-14
公开号:CN119833456B
公开日期:2025-05-16
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种半导体产品搬运设备,涉及半导体检测领域,包括机箱,机箱一侧设置有进出料机构,机箱另一侧开设有检测口,机箱内设置有机械臂,机箱内设置有移动机构,机箱内设置有晶圆寻边机构,机箱内设置有方片寻边机构。本申请利用晶圆寻边机构和方片寻边机构,移动机构带动机械臂移动至进出料机构处,机械臂抓取一个晶圆或液晶方片,并将晶圆放置在晶圆寻边机构上,将液晶方片放置在方片寻边机构上,晶圆和液晶方片完成寻边后,机械臂再将晶圆或液晶方片输送至检测口内,检测机构对晶圆或液晶方片进行检测,一个搬运设备能够同时对晶圆或液晶方片进行搬运,从而降低了晶圆和液晶方片的生产成本。
技术关键词
半导体产品 搬运设备 进出料机构 转臂 机箱 机械臂 滑板 移动机构 机壳 升降柱 移动端 弹性复位件 托架 驱动件 限位件 移动台 解锁 旋转台 料台 滑块
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