一种基于数据模型反馈的微通孔质量检测方法及系统

本发明公开了一种基于数据模型反馈的微通孔质量检测方法及系统，涉及半导体检测技术领域，包括获取微通孔图像数据，对微通孔图像数据进行灰度处理，并对处理后的灰度图像进行二值化转换，获取微通孔二值图像数据，根据微通孔二值图像数据，获取微通孔二维二值图像数据。本发明通过微通孔最短直径，对微通孔进行粗略检测，提高了监测效率，避免了资源的浪费，通过最小缺陷尺寸信息和微通孔最短直径，获取点云间距信息，实现了对点云模型构建的动态调整，提高了模型的准确性，通过微通孔轮廓曲线函数对微通孔进行进一步分析，而不是直接将微通孔孔径与生产标准进行对比，避免了对微通孔的误判，提高了微通孔质量检测效率。