一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备

本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备。其中，晶圆缺陷分类方法包括：首先将晶圆缺陷图像输入分类模型，得到晶圆缺陷图像可能落入的多个晶圆缺陷类型；再将该晶圆缺陷图像输入多模态大模型，得到多模态大模型针对该晶圆缺陷图像生成的描述文本；最后将分类模型输出的多个晶圆缺陷类型和描述文本输入多模态大模型，得到最终的晶圆缺陷分类结果。通过引入多模态大模型，使得分类结果具有可解释性。通过结合多模态大模型和分类模型的生成结果进行分类，综合了两个模型的能力，从而得到更为准确的晶圆缺陷分类结果。