单自由度平行板静电驱动器的位移控制方法及装置

本发明公开了一种单自由度平行板静电驱动器的位移控制方法及装置，所述方法包括：基于单自由度平行板静电执行器，构建物理模型；基于物理模型，构建控制系统模型以将单自由度平行板静电执行器的输出误差约束跟踪问题转化为基于输出反馈系统的控制器设计问题；基于所需跟踪的输出误差，引入滤波器拓展；基于滤波器拓展和控制系统模型，利用内模设计控制器；为了将安全边界转化为数学约束，引入障碍李雅普诺夫函数与误差动态结合，以确保闭环系统的稳定性以及在整个运行周期中输出误差始终维持在预设安全区间。本发明确保在存在大参数变化的情况下，使可移动板能够在不接触固定板的情况下实现全间隙的谐波位移。