一种非接触式离子束EL测试系统及方法

本申请公开了一种非接触式离子束EL测试系统及方法，包括用于提供离子束飞行区域内的真空环境的真空单元，用于精确控制离子束依次扫描整个Mi cro LED芯片阵列区域的离子束偏转单元；包括离子枪和测试线路的测试单元，用于对测试单元收集的电信号和光信号进行分析处理，并判断所测Mi cro LED芯片的相关性能的信号分析单元；本申请避免了探针与芯片的物理接触，解决了探针寿命短、芯片损伤及测试稳定性差的问题，测试速度远高于传统探针逐点接触的测试方法，通过特殊处理，可适用于倒装或正装Mi cro LED芯片的测试，通过调节离子束参数，可精确控制测试电流，获得更详细的电性能数据，测试完成后，可通过化学方法去除测试线路和电极保护金属，恢复芯片原始状态。