上下输送装置的监控方法及包含上下输送装置的设备

本公开涉及半导体技术领域，具体涉及一种上下输送装置的监控方法及包含上下输送装置的设备，能够实现对上下输送装置的上下移动过程的准确控制。上下输送装置包括驱动器、输送组件、第一检测组件和第二检测组件。上下输送装置的监控方法利用上下输送装置的第一检测组件和第二检测组件分别在上下输送装置的输送组件运行的过程中获取第一位置数据和第二位置数据，通过计算第一位置数据和第二位置数据的差值，并基于差值与第一预设数值对比的结果，对上下输送装置的输送组件进行下一步的运行指示，从而能够实现对上下输送装置的上下移动过程的准确控制。