半导体晶片表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质

本发明提供了一种半导体晶片表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：通过LED检测光源阵列发出的检测光束，经过空间滤波处理后，以预设角度照射待测晶片表面。将反射光分为直接光路和滤波光路，直接光路经第二探测器获得原始图像，滤波光路经4f光学系统进行空间频率滤波后由第三探测器获得低通滤波图像。通过对原始图像和低通滤波图像的差分运算得到高通滤波图像，并对其进行自适应阈值分割和形态学优化处理以提取图像特征数据。最后，将图像特征数据输入缺陷检测模型，确定晶片表面的缺陷检测结果。本发明通过空间滤波有效降低了背景噪声的干扰，增强了缺陷边缘特征的对比度，提高了微小缺陷的检测精度和分类准确性。