基于双端口输出马赫曾德尔调制器的硅光芯片间通信系统

本发明公开了一种基于双端口输出马赫曾德尔调制器的硅光芯片间通信系统，属于芯片间通信技术领域，包括：在发射端芯片上，通过激光器发出的光信号经第一多模干涉仪进行1：1的分光后分别进入第一相位调制臂和第二相位调制臂进行相位调制，经调制后的两路光信号分别经第一热调移相器和第二热调移相器以补偿相位误差，经相位补偿后的两路光信号再经第二多模干涉仪实现双端口输出，传输至接收端芯片上的平衡光电探测器，在平衡光电探测器中进行两路光信号的光电流相减得到增强的信号输出。本发明相比于传统的直接调制与直接检测的芯间通信方式，能够将接收的灵敏度提高一倍，对光互连技术的发展具有指导意义。