芯片样品的制样装置及制样方法

本申请涉及一种芯片样品的制样装置及制样方法。制样装置包括第一机构和第二机构。第一机构包括第一支架、滑动板、旋转超声组件、切割刀和抛光垫，滑动板的下端与旋转超声组件连接，切割刀和抛光垫择一可拆卸安装在旋转超声组件远离安装板的一端。第二机构包括第二支架、固定组件和喷嘴，第二支撑杆可相对于支撑座转动，以使安装板能在第一使用状态和第二使用状态切换，当第二支撑杆处于第一使用状态时，第二支撑杆位于旋转超声组件在水平方向的一侧，当第二支撑杆处于第二使用状态时，第二支撑杆位于旋转超声组件的下方，固定组件的一侧用于固定待制样的芯片。此种制样装置及制样方法操作效率高，且所制得的芯片样品质量好。