摘要
本发明公开了一种用于光电传感器的调整组件及光电传感器,包括:复合横向调节机构、三维俯仰调节机构、智能锁紧系统及闭环控制系统。还包括分体式传感模块、光路耦合系统和信号处理单元组成。本发明通过引入压电陶瓷精密驱动、磁流变智能材料、多传感器融合等技术,在调节精度、动态响应和环境适应性方面实现了突破性改进,特别适用于半导体检测、精密光学测量等高端工业场景。
技术关键词
光路耦合系统
压电陶瓷驱动
改进型PID算法
激光位移传感器
智能锁紧系统
接触压力传感器
直线滑台
信号处理单元
俯仰调节机构
磁流变弹性体
横向调节机构
闭环控制系统
光电传感器外壳
传感模块
交叉导轨
相位调制面板
集成温度补偿
陀螺仪
谐波减速电机