一种用于光电传感器的调整组件及光电传感器

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一种用于光电传感器的调整组件及光电传感器
申请号:CN202510311651
申请日期:2025-03-17
公开号:CN120176749A
公开日期:2025-06-20
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种用于光电传感器的调整组件及光电传感器,包括:复合横向调节机构、三维俯仰调节机构、智能锁紧系统及闭环控制系统。还包括分体式传感模块、光路耦合系统和信号处理单元组成。本发明通过引入压电陶瓷精密驱动、磁流变智能材料、多传感器融合等技术,在调节精度、动态响应和环境适应性方面实现了突破性改进,特别适用于半导体检测、精密光学测量等高端工业场景。
技术关键词
光路耦合系统 压电陶瓷驱动 改进型PID算法 激光位移传感器 智能锁紧系统 接触压力传感器 直线滑台 信号处理单元 俯仰调节机构 磁流变弹性体 横向调节机构 闭环控制系统 光电传感器外壳 传感模块 交叉导轨 相位调制面板 集成温度补偿 陀螺仪 谐波减速电机
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沪ICP备2023015588号