一种集成电路的引脚共面性检测方法及系统

本发明涉及引脚共面检测领域，具体涉及一种集成电路的引脚共面性检测方法及系统。该方法首先获取集成电路芯片在不同光照角度的灰度图像，计算出各灰度图像中每个引脚区域的亮度特征值，从所有光照角度中筛选出多个最佳光照角度，分析每个最佳光照角度下的灰度图像中各引脚区域不共面特征，获得引脚区域的不共面显著度，根据各最佳光照角度的灰度图像中的相同引脚区域的亮度特征值和各最佳光照角度之间的相关性，以及各最佳光照角度的灰度图像中的相同引脚区域的不共面显著度，获得集成电路芯片的每个引脚的不共面可能性，并对不共面引脚进行检测。本发明能够降低引脚的氧化现象对共面性检测的干扰，提高对集成电路芯片引脚共面性检测的准确性。