基于非对称干涉的光栅周期一致性测量方法

本发明提供一种基于非对称干涉的光栅周期一致性测量方法，包括：基于剪切差分非对称干涉测量系统，测量光斑质心偏移量；设置光栅参数范围，初始化粒子群位置以及粒子速度，每个粒子代表一组候选光栅参数；以光斑质心偏移量为输入、以光栅周期为输出，计算光学响应，得到对应不同光栅周期的多个粒子；对每个粒子计算适应度，更新每个粒子的自身历史最优和群体中所有粒子的全局最优，迭代更新粒子的速度与位置；达到预设的最大迭代次数，输出全局最优光栅周期一致性参数。本发明将剪切差分非对称干涉应用于光栅周期一致性测量中，非对称干涉与光栅周期反演算法相结合，具有高精度、非破坏、快速且低成本的测量优势。