摘要
本发明涉及一种用于芯片或封装基板封测的探针,通过在绝缘披覆层靠近针头一端、于绝缘披覆层和探针本体之间镀有金属层以形成环状定位件,该环状定位件与探针本体之间形成清角,由于环状定位件的外侧环面平整度更好,不会出现毛刺等不均匀的支撑点;同时,金属层的硬度和稳定性优于绝缘披覆层,在长期使用过程中,即使受到与治具板板面的碰撞受力,也不易发生变形或移位,能够保持良好的垂直度,进而使得探针中段的涂层侧面具有高平整度和垂直度,与治具板接触时形成均匀支撑,避免因绝缘披覆层毛刺或变形导致的探针歪斜,确保检测治具上所有探针的针头顶点处于同一平面上,保证所有探针与芯片良好接触,以提高芯片检测的精度。
技术关键词
探针
封装基板
环状
芯片
绝缘
电镀金属层
针头形状
垂直度
蚀刻工艺
元素
光刻工艺
治具板
涂覆
覆膜
板面
合金
备料
电解