一种用于芯片或封装基板封测的探针及其制备工艺

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一种用于芯片或封装基板封测的探针及其制备工艺
申请号:CN202510332022
申请日期:2025-03-19
公开号:CN120405193B
公开日期:2025-12-05
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种用于芯片或封装基板封测的探针,通过在绝缘披覆层靠近针头一端、于绝缘披覆层和探针本体之间镀有金属层以形成环状定位件,该环状定位件与探针本体之间形成清角,由于环状定位件的外侧环面平整度更好,不会出现毛刺等不均匀的支撑点;同时,金属层的硬度和稳定性优于绝缘披覆层,在长期使用过程中,即使受到与治具板板面的碰撞受力,也不易发生变形或移位,能够保持良好的垂直度,进而使得探针中段的涂层侧面具有高平整度和垂直度,与治具板接触时形成均匀支撑,避免因绝缘披覆层毛刺或变形导致的探针歪斜,确保检测治具上所有探针的针头顶点处于同一平面上,保证所有探针与芯片良好接触,以提高芯片检测的精度。
技术关键词
探针 封装基板 环状 芯片 绝缘 电镀金属层 针头形状 垂直度 蚀刻工艺 元素 光刻工艺 治具板 涂覆 覆膜 板面 合金 备料 电解
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