一种光学非球面机器人椭圆振动抛光装置及方法

本申请属于光学元件精密加工技术领域，涉及一种光学非球面机器人椭圆振动抛光装置及方法，装置包括压力调节气缸、电机、电滑环和超声振动抛光单元组成的椭圆振动抛光组件，电机主轴穿过电滑环与超声振动抛光单元键连接；超声振动抛光单元包括外壳和同轴固定于外壳内的超声椭圆振动子；超声椭圆振动子包括依次同轴设置的超声变幅杆、套筒和抱夹，抱夹穿过外壳延伸至其外部，抱夹末端夹持固定有抛光杆；压力调节气缸推动超声振动抛光单元与工件实现软接触，同时，电机的主轴驱动抛光杆旋转，超声椭圆振动子经由超声变幅杆驱动抛光杆作椭圆振动。本申请提高了非球面加工几何精度，大幅提高抛光效率，缩短了加工周期。