一种光电镊芯片及其制造方法

本申请公开了一种光电镊芯片及其制造方法，本申请的一种光电镊芯片，在基底上设置光电导单元，当光束照射在该光电导单元上时能激发产生介电泳力，并通过介电泳力实现对细胞的有效操控；在基底上设置多个光电导单元，多个光电导单元能产生更强且更均匀的电场，并激发介电泳力，以提升对细胞的操控范围和操控精度；通过将不同种光电导材料进行横向排布，能有效提高该光电镊芯片对不同的光电导材料的兼容性；此外，采用多种光电导单元的光电镊芯片激发产生的介电泳力覆盖范围广，能满足细胞操控、染色及分离等复合操作。