微发光二极管自组装巨量转移装置及其方法

本发明公开了一种微发光二极管自组装巨量转移装置，包含离心机以及多个基板。离心机具有内表面与外表面，内表面与外表面之间共同形成腔室。离心机并包含多个固定部、两芯片出入口、两气体通道以及多个气孔。固定部设置于内表面上。两芯片出入口分别设置于离心机相对的第一侧与第二侧。两气体通道分别设置于离心机相对的第三侧与第四侧，连通外表面与腔室。气孔连通内表面与腔室。基板设置于固定部上。基于此配置，可通过转动离心机将芯片固定至基板上完成巨量转移。