一种适用于存储芯片后道测试的ATE接口

本发明涉及集成电路自动测试设备领域，尤其涉及一种适用于存储芯片后道测试的ATE接口，包括支撑板、浮动单元组件、DSA模块和隔热模块；所述DSA模块包括DSA和DSA支撑板；所述隔热模块包括隔热块和屏蔽围板；所述支撑板固定在ATE上，所述浮动单元组件固定在所述支撑板上，所述隔热块固定在所述浮动单元组件上，所述DSA支撑板安装在所述隔热块上，所述DSA固定在所述DSA支撑板上；所述屏蔽围板包裹在所述隔热块的外围。本发明通过对接口结构的合理整合和布局，使得ATE与分选机能够进行机械连接，形成整体测试环境所需的结构框架，能够解决大并测多通道半导体芯片测试设备后道测试过程中与分选机对接的结构问题。