一种高效能高压大电流MOS管封装工艺

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一种高效能高压大电流MOS管封装工艺
申请号:CN202510346618
申请日期:2025-03-24
公开号:CN120280346B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本发明属于电子封装技术领域。更具体地,涉及一种高效能高压大电流MOS管封装工艺。本发明具体封装步骤包括:划片:将晶圆上矩阵式分布的芯片,切割分离成独立的单颗芯片;涂布纳米银膏:将纳米银膏涂布在芯片与预处理DFN框架基板之间;固化:通过热处理方式使纳米银膏固化,形成电气连接;其中,所述预处理DFN框架基板的预处理步骤包括:将DFN框架基板面向纳米银膏的表面涂布1#导热环氧树脂涂料后,加热固化,以形成薄膜导热涂层;再于薄膜导热涂层表面凹版印刷2#导热环氧树脂涂料后,加热固化,以在薄膜导热涂层表面形成岛状导热涂层。
技术关键词
大电流MOS管 导热环氧树脂 纳米银膏 封装工艺 硅烷偶联剂 纳米氧化铝 聚硅氧烷消泡剂 胺类固化剂 涂层 凹版印刷 高压 表面涂布 电子封装技术 薄膜 涂料 球形 芯片 基板
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