摘要
本发明属于电子封装技术领域。更具体地,涉及一种高效能高压大电流MOS管封装工艺。本发明具体封装步骤包括:划片:将晶圆上矩阵式分布的芯片,切割分离成独立的单颗芯片;涂布纳米银膏:将纳米银膏涂布在芯片与预处理DFN框架基板之间;固化:通过热处理方式使纳米银膏固化,形成电气连接;其中,所述预处理DFN框架基板的预处理步骤包括:将DFN框架基板面向纳米银膏的表面涂布1#导热环氧树脂涂料后,加热固化,以形成薄膜导热涂层;再于薄膜导热涂层表面凹版印刷2#导热环氧树脂涂料后,加热固化,以在薄膜导热涂层表面形成岛状导热涂层。
技术关键词
大电流MOS管
导热环氧树脂
纳米银膏
封装工艺
硅烷偶联剂
纳米氧化铝
聚硅氧烷消泡剂
胺类固化剂
涂层
凹版印刷
高压
表面涂布
电子封装技术
薄膜
涂料
球形
芯片
基板