一种线光谱轮廓传感器自动化标定装置及方法

本发明是一种线光谱轮廓传感器自动化标定装置及方法，采用线光谱轮廓传感器与激光干涉仪标定位移方向线性度，在运动轴上布置棋盘格标靶标定轮廓方向位置；标定时，控制棋盘格标靶由量程近端向量程远端步进运动，记录每个采样位置下的线光谱轮廓传感器原始轮廓中的X方向位置、Z方向位置和光强，并记录激光干涉仪数据作为Z方向位置基准；通过拐点检测算法检测光强在棋盘格标靶上明暗分割点得到X方向位置基准；完成全量程扫描后，对不同位置上的二维轮廓数据构成三维面形进行拟合，生成标定表进行校准。本发明可实现在单次扫描中对位移方向和轮廓方向的位置同时校准，适用于各种量程的线光谱轮廓传感器的标定，可显著提升标定精度与生产效率。