一种柔性纳米孔道及其制备方法、机械调控装置

本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种柔性纳米孔道及其制备方法、机械调控装置，所述纳米孔道为通孔，开设于有机膜上；所述有机膜设置于硅基底上，所述硅基底上开设有窗口，所述纳米孔道的开设于该窗口区域内。本发明的纳米孔道具有较好的弹性，能够承受反复形变，通过对纳米孔道的孔径变径调节，能够显著提升信号分辨率和检测精度。