摘要
在用于对附着于压电振子的气体中所含的被感测物质进行感测的感测装置中,使压电振子稳定地振荡而测定频率。感测装置用于基于压电振子的振荡频率的变化,来对包含在所述压电振子周围的气体中并且附着于所述压电振子的被感测物质进行感测,所述感测装置包括:压电振子,通过受到冷却而使所述被感测物质附着;温度变更部,用于变更所述压电振子的温度;基板,设有包含使所述压电振子振荡的振荡电路的集成电路芯片;频率测定部,接收从所述振荡电路输出的频率信号以测定所述压电振子的振荡频率;加热器,为了对所述集成电路芯片进行加热而与所述温度变更部独立地设置;以及电力供给部,能够变更对所述加热器供给的电力。
技术关键词
压电振子
集成电路芯片
感测装置
电力供给部
振荡电路
加热器
频率
电压
调节器
基板
信号
气体
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