超高精度三自由度转角测量系统及测量方法

本发明涉及转角测量领域，尤其涉及一种超高精度三自由度转角测量系统及测量方法，测量系统包括第一标定装置，其设置在并联机器人的动平台上；x/z轴自准直测量装置与第二标定装置，两者沿y轴方向设置在第一标定装置的两侧；x轴激光干涉测量装置，其沿x轴方向设置第一标定装置的一侧；y轴自准直测量装置与第三标定装置，两者沿x轴方向设置在第一标定装置的两侧；y轴激光干涉测量装置沿y轴方向设置第一标定装置的一侧；z轴激光干涉测量装置位于x/z轴自准直测量装置的一侧。本发明能够提高测量精度以及实现转角耦合测量。