一种集成电路互连线的寄生电容提取方法

本发明属于集成电路相关技术领域，具体涉及一种集成电路互连线的寄生电容提取方法，包括：构建导体表面及内部采样点集合；构建由两两互连电容构成的初始值全为零的寄生电容矩阵；生成与每个导体的表面采样点对应的理想表面电势值集合；构建由输入层、单层隐藏层和输出层组成的神经网络结构，以表面采样点为输入，以表面采样点对应的理想表面电势值和神经网络的输出间的均方误差作为损失函数，将泊松方程的格林函数作为隐藏层激活函数，将所有等效点电荷位置作为隐藏层激活函数中心坐标；训练隐藏层各神经元权重系数，对应作为各等效点电荷的等效电荷值，得到每个导体所有等效点电荷的等效电荷值，更新寄生电容矩阵。本发明能实现寄生电容提取。