摘要
本发明涉及一种局部区域嵌埋陶瓷基板的印刷电路板及其制备方法,属于半导体器件技术领域。本发明的制备方法包括对芯板的上、下表面进行表面处理形成L3层、L4层;加工通槽;贴胶带;将功率芯片模块贴装到通槽内;在L3层表面形成第一粘结层、L2层;去除胶带;在L4层表面形成第二粘结层、L5层;加工盲孔并填充铜;加工通孔并内壁金属化;对L2层和L5层表面处理;通过银膏将陶瓷基板粘接在L5层表面对应功率芯片模块的区域并烘烤固定;在L2层的表面形成第三粘结层、L1层;在L5层的表面形成第四粘结层、L6层;加工盲孔并填充铜;对L1层进行表面处理;经过阻焊加工、防氧化处理和切割成形。该制备方法可有效改善印刷电路板的散热性和电压耐受性。
技术关键词
陶瓷基板
功率芯片
聚酰亚胺基膜
粘结片材
铜箔
电路板
半导体器件技术
AlN基板
贴胶带
双面覆铜板
金属化
盲孔
模块
亚克力
成形
钢模
通孔