一种基于高维交替特征筛选的晶圆良率分类方法和系统

本发明公开了一种基于高维交替特征筛选的晶圆良率分类方法和系统，属于集成电路工艺制造领域。收集晶圆样本的验收测试参数，采用合成少数类过采样方法扩展少数类样本，得到合格和不合格类别平衡的晶圆样本特征集；采用高维交替特征筛选方法从晶圆样本特征集中筛选特征，得到特征子集；高维交替特征筛选方法将快速相关滤波模型作为过滤器，将其纳入局部有效权重包装器中实现高维交替特征筛选；利用筛选后的特征子集采用遗传算法训练一个基于XGBoost的晶圆良率分类模型，利用训练后的模型进行晶圆良率分类。本发明通过综合运用不平衡校正和高维特征交替筛选技术，优化了晶圆样本的验收测试参数，减少特征冗余信息，提升了预测效果。