一种激光器芯片的镀膜装置及其镀膜方法

本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种激光器芯片的镀膜装置，包括工作台，所述螺纹丝杠的外部螺纹连接有滑台座，所述镀膜箱的内后壁固定安装有涡流式接近开关，所述平移台的顶部设置有抓取件，所述夹具环座的顶部设置有行星齿轮件，所述夹具环座的内侧设置有夹持片。该激光器芯片的镀膜装置及其镀膜方法，第一减速电机通过链齿轮驱动第二圆锥齿轮与第一圆锥齿轮，轴杆控制钩爪片聚拢摆动对放入平移台的巴条夹具夹持固定，然后步进电机通过驱动螺纹丝杠，控制平移台沿螺纹丝杠左右移动，当涡流式接近开关检测到平移台移动至夹具环座正下方时，第一减速电机控制轴杆，使钩爪片扩展放料，从而实现自动取放料的效果。