一种基于X射线检测金刚石及类金刚石涂渗层厚度的新型方法

本发明公开了一种基于X射线检测金刚石及类金刚石涂渗层厚度的新型方法，本发明采用X射线无损检测，并且增加优化算法，可以解决相同元素针对单一射线相互干扰的算法，残留物对检测结果的影响，优化算法和本发明可以应用到芯片类产品表面物理改性方向生长金刚石的厚度，工具钢、结构材料等硬质合金表面的类金刚石DLC涂层，CVD气相沉积金刚石涂层等方向均可适用，于此同时，本发明还可以适用于其他表面未能被能量色散X荧光光谱仪检出的元素厚度同样适用，比如氮N化层及氧O化层，还包括生物方向的蝉翼膜或者生物仿生膜等等。化工方面，针对PE聚乙烯类，环氧树脂类均可适用。