摘要
本申请涉及半导体技术领域,公开了一种半导体器件及其封装工艺方法;该半导体器件的封装工艺方法包括步骤:通过注塑工艺将阴极电极、阳极电极和门极电极预连接于芯片上,以形成将芯片密封包裹的一体化预组装结构;将管壳封装于一体化预组装结构的外周;将管壳的管壳阴极与阴极电极密封电连接,管壳的管壳阳极与阳极电极密封电连接;采用管壳盖板对管壳进行封盖。本申请通过在芯片封装前增加一体成型环节,通过将芯片上的金属电极一体成型连接于芯片,并通过注塑工艺将一体成型后的组装结构进行注胶,以将芯片包裹,从而使得芯片与外部环境隔离,以达到提升芯片测试良率的目的。
技术关键词
封装工艺方法
阴极电极
预组装结构
半导体器件
管壳
阳极
注塑工艺
金属化
包裹
烧结设备
注胶
芯片封装
刻蚀工艺
金属电极
终端
厚度比