摘要
本发明公开了一种可见红外双波段探测器件、制备方法和可见红外双波段成像仪,可见红外双波段探测器件包括:红外探测芯片、环形支撑部和可见光探测芯片;红外探测芯片包括衬底基座和在衬底基座的中间区域呈阵列排布的多个红外感光单元;可见光探测芯片包括芯片衬底以及形成于芯片衬底的中间区域的可见光感光单元;环形支撑部的一端和衬底基座的边缘部位环绕连接,另一端和芯片衬底的边缘部位环绕连接;衬底基座上各红外感光单元所在区域正对芯片衬底上各可见光感光单元所在区域,且各红外感光单元和各可见光感光单元之间呈像素级对准。本申请中将可见光探测芯片和红外探测芯片呈上下两层设置,实现红外光和可见光的同步探测,且制备难度低。
技术关键词
红外双波段探测器
红外探测芯片
可见光
衬底基座
感光模块
时序控制电路
导电柱
感光像素单元
光学透镜
环形
红外光
列选电路
阵列
成像仪
透光