摘要
本发明提供了一种智能化DES生产线,通过前处理产线对产品进行预处理;铜厚检测与分板设备检测产品的上下板面各位置的铜厚度以及根据不同板厚范围进行分类,并将检测分类数据传送给数据处理中心;数据处理中心接收产品的产品信息,并基于产品信息通过预训练的大数据模型输出对应的目标生产参数;其中,产品信息包括所述检测分类数据以及从曝光机接收的干膜厚度和线路相关数据;DES产线接收目标生产参数,并基于目标生产参数进行参数调整后对产品进行生产工作;检测设备,用于对DES产线生产出的产品检测复核线宽和线距;并在检测复核通过时将检测复核结果反馈至数据处理中心保存,或者在检测复核未通过时将检测复核结果上报至数据处理中心以进行参数优化。如此,本发明能够优化蚀刻过程,提高精度和灵活性,减少认为干预造成的误差;提高了生产效率且降低了首板的报废率。
技术关键词
DES生产线
数据处理中心
参数
药水
预警模块
检测仪器
曝光机
蚀刻
检测设备
神经网络模型
板面
动态更新
线路
干膜
基板
精度
机制